四氟化碳、Tetrafluoromethane
R14（四氟化碳）是深冷 PFC 工质，沸点低至 -128℃，用于 -120℃ 以下的极低温复叠制冷与半导体制造刻蚀工艺。
| 化学名称 | 四氟化碳 |
|---|---|
| 分子式 | CF₄ |
| 分子量 | 88.00 |
| 沸点（101.3kPa） | -128.0 ℃ |
| 临界温度 | -45.6 ℃ |
| 临界压力 | 3.74 MPa |
| ODP 臭氧消耗潜值 | 0 |
| GWP 全球变暖潜值 | 6630 |
| ASHRAE 安全分类 | A1（无毒、不可燃） |
| 蒸气相对密度（空气＝1） | 3.038 |
| 临界密度（g/cm³） | 0.6270 |
| 偏心因子 | 0.1785 |
| 三相点温度（°C） | -153.150 |
| 外观 | 无色透明、无浑浊 |
|---|---|
| 纯度 | ≥ 99.9 % |
| 水分 | ≤ 10 ppm |
| 酸度（以 HCl 计） | ≤ 1 ppm |
| 蒸发残留物 | ≤ 0.01 % |
| 执行标准 | 符合国家标准及行业标准 |
| 5 / 10 kg | 一次性钢瓶 |
|---|---|
| 40 kg | 重复充装钢瓶 |
R14 为 PFC，GWP 较高且极难降解，使用与排放须严格符合环保法规，应通过专用设备回收，禁止随意释放。
| 储存与运输 | 储存于阴凉、通风库房，远离火种热源，库温不宜超过 52℃。与氧化剂、酸类分开存放。钢瓶定期检验，搬运轻装轻卸。 |
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